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科研机构
大连理工大学 [6]
内容类型
学位论文 [6]
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2015 [1]
2013 [3]
2009 [1]
2008 [1]
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内容类型:学位论文
专题:大连理工大学
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低气压双频容性耦合电负性等离子体物理特性的研究
学位论文
: 大连理工大学, 2015
作者:
刘佳
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/09
双频容性耦合等离子体
电子密度
物理特性
能量分布
驱动频率
二维脉冲调制射频SiH_4/N_2/O_2放电的数值模拟研究
学位论文
: 大连理工大学, 2013
作者:
贾文柱
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/13
脉冲等离子体
二维流体力学模拟
电负性等离子体
SiH_//N/2/O_2
镧系离子的电荷转移能研究
学位论文
: 大连理工大学, 2013
作者:
李华君
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/13
无机晶体
镧系离子
电荷转移能
离子电负性
二维脉冲调制射频SiH4/N2/O2放电的数值模拟研究
学位论文
: 大连理工大学, 2013
作者:
贾文柱
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/13
脉冲等离子体
二维流体力学模拟
电负性等离子体
氮氧化硅薄膜
热化学气相沉积
电负性气体射频感性耦合放电不稳定性研究
学位论文
: 大连理工大学, 2009
作者:
高巍
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提交时间:2019/12/24
射频等离子体
感性耦合
电负性气体
等离子体放电
天线耦合
双频容性耦合等离子体物理特性的混合模拟
学位论文
: 大连理工大学, 2008
作者:
王帅
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提交时间:2019/12/27
双频容性耦合等离子体
电负性气体
混合模拟方法
离子能量分布
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