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厦门大学 [5]
内容类型
学位论文 [5]
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2011 [1]
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2004 [1]
2002 [1]
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内容类型:学位论文
专题:厦门大学
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三维硅基微型储能系统纳米阵列阳极的制备及特性研究
学位论文
2017, 2016
岳闯
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/06/20
微型锂/钠离子电池
薄膜沉积
PS纳米球掩膜
ICP干法刻蚀
三维硅纳米阵列电极
三维硅基复合纳米阵列电极
Micro Li/Na-ion battery
thin film deposition
PS nanosphere templates
ICP dry etching
3D Si NR arrays
3D Si based composite NR arrays
差动式电容微机械陀螺仪工艺制备及接口电路设计
学位论文
2011, 2011
刘洋
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
电容式陀螺仪
差动检测
深刻蚀
自激振荡电路
capacitive gyroscope
differential detection
high aspect ratio etching
automatic gain control circuit
ICP刻蚀SiC机制及表面损伤的研究
学位论文
2008, 2008
吕英
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
4H-SiC
ICP刻蚀
CF4/O2
表面损伤
4H-SiC
ICP etch
CF4/O2
surface damage
感应耦合等离子体刻蚀GaN材料的研究
学位论文
2004, 2004
潘群峰
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
GaN
ICP刻蚀
CHF3
GaN
ICP etching
CHF3
用于光纤通信的MEMS光开关
学位论文
2002, 2002
许高攀
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
光开关
悬臂梁
各向异性腐蚀
optical switch
cantilever
wet anisotropic etching process
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