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科研机构
厦门大学 [8]
内容类型
学位论文 [8]
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2011 [1]
2006 [1]
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内容类型:学位论文
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远程等离子体辅助原子层沉积技术制备HfO2薄膜及HfO2/Ge界面性质研究
学位论文
2016, 2016
池晓伟
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/06/20
远程等离子体辅助原子层沉积
HfO2/Ge界面
N2等离子体预处理
Remote plasma Atomic Layer deposition
HfO2/Ge interface
N2 plasma pretreatment
Ge表面等离子体改性及其在GOI和Al/n-Ge接触中的应用研究
学位论文
2016, 2016
赖淑妹
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浏览/下载:140/0
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提交时间:2017/06/20
等离子体改性
亲水性
绝缘体上锗
Al/n-Ge接触
肖特基势垒
plasma modification
hydrophilicity
Germanium on Insulator
Al/n-Ge contact
Schottky barrier height
锗n+/p浅结及SOI基Ge波导型光电探测器的研制
学位论文
2016, 2015
王尘
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2017/06/20
脉冲激光退火
低温预退火
Ge n+/p浅结
SOI基Ge波导探测器
Excimer laser annealing (ELA)
Low temperature pre-annealing
Ge n+/pshallow junction
SOI-based Ge waveguide photodetector
能带改性Si基应变Ge材料的制备及其发光性质
学位论文
2014, 2014
黄诗浩
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/01/12
能带工程
张应变锗
Si基Ge外延材料
绝缘层上硅锗/锗材料
室温光致发光
Si基SiGe/Ge/SiGe异质结构
Band engineering
Tensile strained Ge
Ge-on-Si
SGOI/GOI
Room temperature photoluminescence
Si-based SiGe/Ge/SiGe heterostructures
Si基图形化衬底Ge外延生长及Si基Ge波导型探测器研究
学位论文
2014, 2014
高玮
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/01/12
图形衬底
Si基Ge薄膜
Ge波导型探测器
Patterned Si substrate
Ge film on Si
Ge waveguide photodetector
HfO2/Ge界面钝化技术及Si基Ge量子阱MOSFET的研究
学位论文
2012, 2012
刘冠洲
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
HfO2/Ge
湿法退火
Ge量子阱MOSFET
HfO2/Ge
wet thermal annealing
Ge quantum well MOSFET
高质量Si基Ge材料外延生长及其MOS结构界面特性研究
学位论文
2011, 2011
郑元宇
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
低温Ge缓冲层
SiGe/Ge多量子阱
原位掺杂
Si基Ge MOS结构
氧化物/Ge界面
low temperature Ge buffer
SiGe/Ge MQW
in situ doping
Si-based Ge MOS structure
oxide/Ge interface
高性能硅基发光材料及硅MSM结构光电探测器的研制
学位论文
2006, 2006
黄燕华
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2016/02/14
多孔硅
钝化
Si-MSM-PD
光谱响应度
PS
Passivation
Si-MSM-PD
Responsivity
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