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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：外文期刊     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Deposition of SiOx films with a capacitively-coupled plasma at atmospheric pressure 外文期刊 2007 作者:  Xu, XY;  Li, L;  Wang, SG;  Zhao, LL;  Ye, TC 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/11/26 Chemical-vapor-deposition  Silicon Dioxide Films  Discharge  Jet   Photoresist etching by atmospheric pressure uniform-glow plasma 外文期刊 2007 作者:  Wang, SG;  Xu, XY;  Zhao, LL;  Ye, TC 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/11/26 Discharge   Temperature comparison for non-equilibrium atmospheric pressure Ar and He plasma jets 外文期刊 2007 作者:  Duan, XJ;  Xu, XY;  Zhao, LL;  Wang, SG 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/11/26 Dielectric-barrier  Argon  Discharges  Deposition   SOI technology for radio-frequency integrated-circuit applications 外文期刊 2006 作者:  Yang, R;  Qian, H;  Li, JF;  Xu, QX;  Hai, CH 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/11/26 Rf-cmos  Silicon  Ghz   Basic characteristics of an atmospheric pressure rf generated plasma jet 外文期刊 2004 作者:  Wang, SG;  Li, HJ;  Ye, TC;  Zhao, LL 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/11/26 Silicon Dioxide Films  Dielectric-barrier  Deposition  Discharge