QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PECVDSiC薄膜激光退火实验研究 其他 2006-01-01 罗睿; 郭辉; 张海霞; 王煜; 李素兰; 张秀兰; 张国炳 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12 PECVD法 碳化硅薄膜 激光退火条件 电子器件 MEMS器件 机械特性   PECVD SiC材料刻蚀技术研究 其他 2005-01-01 陈晟; 李志宏; 张国炳; 郭辉; 王煜; 田大宇; 李素兰; 边伟 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 PECVD碳化硅  反应离子刻蚀  电感耦合离子刻蚀  氢含量  功率  压强  刻蚀速率