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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Large aperture ratio machining of the Z-cut quartz base on MEMS technology 其他 2012-01-01 Xie, Haihe; Jiang, Xiaogfeng; Lin, Chun; Lu, Xizhao; Huang, Yuanqing; 林春; 黄元庆 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/22 Confocal microscopy  Design  Experiments  Hydrofluoric acid  Manufacture  MEMS  Microporosity  Microstructure  Quartz  Scanning electron microscopy  Testing