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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A novel bulk micromachined tunneling gyroscope 其他 2011-01-01 Wang, Lingy; Su, Yuanzhe; Lei, Y; Li, Wenwang; Liu, Yifan; Sun, Daohen; 王凌云; 刘益芳; 孙道恒 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/07/22 Atmospheric pressure  Electron tunneling  Glass  Glass bonding  Modal analysis  Natural frequencies  Reactive ion etching  Semiconducting silicon compounds  Silicon wafers  Wafer bonding