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北京大学 [5]
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其他 [5]
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Discussion and analysis of Au/a-Si contact resistance in MEMS/NEMS devices
其他
2015-01-01
Fu, Fengshan
;
Yang, Fang
;
Wang, Wei
;
Huang, Xian
;
He, Jun
;
Zhang, Li
;
Guan, Taotao
;
Li, Rui
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/12/03
Discussion and Analysis of Au/a-Si Contact Resistance in MEMS/NEMS Devices
其他
2015-01-01
Fu, Fengshan
;
Yang, Fang
;
Wang, Wei
;
Huang, Xian
;
He, Jun
;
Zhang, Li
;
Guan, Taotao
;
Li, Rui
;
Zhang, Dacheng
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2017/12/03
anodic bonding
contact resistance
bonded vertical Kelvin method
WAFER
Electrical Interconnect in MEMS/NEMS Devices by Au/a-Si Eutectic Reaction
其他
2013-01-01
Huang, X.
;
Zhao, D. Q.
;
He, J.
;
Fan, X. J.
;
Yang, F.
;
Zhang, D. C.
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/11/16
SILICON
WAFER
Effect of Phosphorus Doping on the Performance of Au/Si Inter-diffusion
其他
2013-01-01
Huang, Xian
;
Yang, Fang
;
Zhao, Danqi
;
He, Jun
;
Fan, Xuejiao
;
Wang, Wei
;
Zhang, Dacheng
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2015/11/16
phosphorus doping
Au/Si inter-diffusion
eutectic reaction
craters
HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON
FILMS
GOLD
SOLUBILITY
Parameter Characterization of Anodic Bonded Electrical Interconnect in MEMS/NEMS devices
其他
2009-01-01
Fan, Xuejiao
;
Zhang, Dacheng
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/11/10
anodic bonding
bonded vertical Kelvin method
contact resistance
electrical interconnect
CONTACT RESISTANCE
WAFER
SILICON
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