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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Nanoscale Ge Fin Etching Using Inductively Coupled Plasma for Ge-based Multi-gate Devices 其他 2016-01-01 Bingxin Zhang; Xia An; Yuxuan Xia; Ming Li; Meng Lin; Peilin Hao; Xing Zhang; Ru Huang 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03 roughness  etching  fabrication  uniformity  inductively  optimizing  layout  illustrated  scaling  removed  roughness  etching  fabrication  uniformity  inductively  optimizing  layout  illustrated  scaling  removed   A study of thermoplastic properties of a novel photoresist 其他 2015-01-01 Lou, Kevin; Sheu, Gene; Yang, Shao-Ming; Laksana, Pradhana Jati Budhi 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03 Controllable Formation and Optical Characterization of Silicon Nanocone-Forest Using SF6/C4F8 in Cyclic Etching-Passivation Process 其他 2013-01-01 Zhu, Fu-Yun; Zhang, Xiao-Sheng; Hu, Wei; Zhang, Hai-Xia 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/16 nanocone-forest  DRIE  controllability  low-reflectance   A facile nanowire fabrication approach based on edge lithography 其他 2012-01-01 Liu, Yaoping; Wang, Wei; Zhang, Haixia Alice; Wu, Wengang; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13