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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种双端固支梁室温瓦斯传感器 其他 2015-09-02, 2015-09-02 马洪宇; 丁恩杰; 张卫东 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/06/15 基于表面牺牲层工艺微谐振器的金属化与释放 其他 2009-01-01 黄一峰; 阎博; 陈兢 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 微谐振器 多晶硅 表面牺牲层 制备工艺   挠性双端固支梁MEMS谐振器研究 其他 2008-01-01 刘毅; 汤雅权; 于晓梅 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 MEMS谐振器 SOI材料 亚微米间隙电容式 挠性双端固支梁 结构仿真