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北京大学 [6]
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其他 [6]
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2013 [1]
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2004 [1]
2003 [1]
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新型清洁可持续的绿色能源:高性能摩擦纳米发电机
其他
2013-01-01
张晓升
;
韩梦迪
;
王任鑫
;
朱福运
;
李志宏
;
王玮
;
张海霞
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2015/11/12
可持续能源 纳米发电机 自供能系统 微纳复合结构
挠性双端固支梁MEMS谐振器研究
其他
2008-01-01
刘毅
;
汤雅权
;
于晓梅
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
MEMS谐振器 SOI材料 亚微米间隙电容式 挠性双端固支梁 结构仿真
一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究
其他
2006-01-01
王展飞
;
李志宏
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
电容检测 Delta-Sigma 电容传感器 调制器 差分电容
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜
其他
2006-01-01
栗大超
;
吴文刚
;
袁勇
;
陈庆华
;
郝一龙
;
胡小唐
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度
自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造
其他
2004-01-01
汪超
;
陈海青
;
余洪斌
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/10/23
自适应光学系统
变形镜
静电驱动
体硅工艺
凸角补偿
微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状
其他
2003-01-01
周荣春
;
张海霞
;
郝一龙
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
干法刻蚀
模拟工具
微加工工艺
工艺模拟
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