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新型清洁可持续的绿色能源:高性能摩擦纳米发电机 其他
2013-01-01
张晓升; 韩梦迪; 王任鑫; 朱福运; 李志宏; 王玮; 张海霞
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挠性双端固支梁MEMS谐振器研究 其他
2008-01-01
刘毅; 汤雅权; 于晓梅
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一种用于差分电容检测的电荷Delta-Sigma调制器的研究 其他
2006-01-01
王展飞; 李志宏
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基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 其他
2006-01-01
栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐
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自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造 其他
2004-01-01
汪超; 陈海青; 余洪斌
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微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状 其他
2003-01-01
周荣春; 张海霞; 郝一龙
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