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科研机构
大连理工大学 [1]
高能物理研究所 [1]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2014 [1]
2011 [1]
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INVESTIGATION OF THE BREAKDOWN AND RF SHEATH POTENTIAL FOR EAST ICRF ANTENNA
会议论文
Proceedings of the 5th International Particle Accelerator Conference (IPAC 2014), Germany, 2014
作者:
H.Yang
;
S.Dong
;
L.Shang,K.Tang
;
C.-F.Wu
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提交时间:2016/06/22
Study on Feature Profile Evolution for Chlorine Etching of Silicon in a RF Biased Sheath
会议论文
17th international conference on surface modification of materials by ion beams (SMMIB)
作者:
Dai ZL(戴忠玲)
;
Wang YN(王友年)
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提交时间:2019/12/18
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