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上海微系统与信息技术... [2]
长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
会议论文 [3]
发表日期
2006 [1]
2002 [1]
2000 [1]
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先进体硅机械加工技术——从微米到纳米
会议论文
第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006
李昕欣
;
王跃林
;
李铁
;
杨恒
;
焦继伟
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2012/01/18
基于微机械工艺的平面电机及其制作
会议论文
中国北京
郭占社
;
吴一辉
;
张平
;
梁静秋
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/03/19
平面微电机
定子
转子
LIGA工艺
SOI高温及超高温压力传感器的开发与研究
会议论文
2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集, 2000
王文襄
;
刘秀娥
;
王麦广
;
张轩雄
;
朱作云
;
梁俊吾
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浏览/下载:88/0
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提交时间:2012/01/18
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