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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design of zoom system for pupil shaping of lithography tool 会议论文 international conference on optical instruments and technology - optical systems and modern optoelectronic instruments 作者:  Fang, Ruifang;  Zeng, Aijun;  Zhang, Shanhua;  Huang, Huijie 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28 Design and simulation of illuminator with micro scanning slit array for NA 0.75 lithography system 会议论文 conference on optical microlithography xxvi 作者:  Zhu, Linglin;  Zeng, Aijun;  Zhang, Shanhua;  Fang, Ruifang;  Huang, Huijie 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28