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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械