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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：兰州大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 磁控溅射制备类金刚石薄膜的内应力研究 会议论文 中国真空学会2008年学术年会 作者:  王舟;  王成兵;  王琦;  张俊彦 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/06/24 类金刚石薄膜  磁控溅射  负偏压  硅基底