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介质阻挡放电等离子体沉积氟碳薄膜研究 会议论文
第十三届全国等离子体科学技术会议, 中国四川成都, 2007-08-20
作者:  牛金海;  冯志庆;  李伟;  尹晔珺;  谷建东
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