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Removal of boron impurity in polycrystalline silicon by heating silicon powder via high-temperature heating furnace to form silicon oxide film having oxidized surface, and contacting film with electron beam in electron beam melting furnace. 专利
申请日期: 2010-01-01, 公开日期: 2010-11-24
作者:  DONG W TAN Y JIANG D ZOU R
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Display device, process of fabricating same, and apparatus for fabricating same 专利
专利号: US7129124, 申请日期: 2006-10-31, 公开日期: 2006-10-31
作者:  HONGO, MIKIO;  UTO, SACHIO;  NOMOTO, MINEO;  NAKATA, TOSHIHIKO;  HATANO, MUTSUKO
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Method of manufacturing a semiconductor integrated circuit device 专利
专利号: US6380037, 申请日期: 2002-04-30, 公开日期: 2002-04-30
作者:  OSANAI, JUN
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Optical wave guide 专利
专利号: JP1990251909A, 申请日期: 1990-10-09, 公开日期: 1990-10-09
作者:  TSUNEKAWA YOSHIFUMI
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Manufacture of semiconductor laser 专利
专利号: JP1986226988A, 申请日期: 1986-10-08, 公开日期: 1986-10-08
作者:  MAKIUCHI MASAO
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Compound semiconductor element and manufacture thereof 专利
专利号: JP1984222988A, 申请日期: 1984-12-14, 公开日期: 1984-12-14
作者:  SHIBATA ATSUSHI
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Manufacture of compound semiconductor element 专利
专利号: JP1984222986A, 申请日期: 1984-12-14, 公开日期: 1984-12-14
作者:  SHIBATA ATSUSHI
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