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A method of fabricating vertical devices using a metal support film 专利
专利号: EP1502284B1, 申请日期: 2013-08-07, 公开日期: 2013-08-07
作者:  YOO, MYUNG, CHEOL
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Cell-level integrated plasma etching simulation method, involves simulating movement state of ions in space of particle, activating level set function for carrying smooth etching process, and reconstructing initial level set function. 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-04-24
作者:  DAI Z YAN P YANG M YAN J ZHANG S
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Planarization of GaN by photoresist technique using an inductively coupled plasma 专利
专利号: US8257987, 申请日期: 2012-09-04, 公开日期: 2012-09-04
作者:  MOUSTAKAS, THEODORE D.;  WILLIAMS, ADRIAN D.
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Three-dimensional calculation method for plasma etching section evolution, involves etching groove with configuration of initial level set function, and reconstructing initial level set function smooth level set function. 专利
申请日期: 2012-01-01, 公开日期: 2012-12-26
作者:  ZHANG W YANG M YAN P YAN J
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Integration CMOS compatible of micro/NANO optical gain materials 专利
专利号: WO2010025222A1, 申请日期: 2010-03-04, 公开日期: 2010-03-04
作者:  CAROTHERS DANIEL N.
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Apparatus for optical beam shaping and associated methods 专利
专利号: US20080019004A1, 申请日期: 2008-01-24, 公开日期: 2008-01-24
作者:  HANSEN, MATTHEW E.
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Method for manufacturing a light-emitting device with a periodic structure in an active region 专利
专利号: US20070253456A1, 申请日期: 2007-11-01, 公开日期: 2007-11-01
作者:  YAGI, HIDEKI
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Method of etching for multi-layered structure of semiconductors in groups III-V and method for manufacturing vertical cavity surface emitting laser device 专利
专利号: US20070134926A1, 申请日期: 2007-06-14, 公开日期: 2007-06-14
作者:  KWON, O. KYUN;  PARK, MI RAN;  HAN, WON SEOK;  SONG, HYUN WOO
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A method to GAAS based lasers and a based laser 专利
专利号: AU2002324397A1, 申请日期: 2003-06-19, 公开日期: 2003-06-19
作者:  BLIXT, PETER, N.;  CARLSTROM, CARL-FREDRIK;  KRUMMENACHER, LAURENT;  LINDSTROM, KARSTEN, V., L.;  SILFVENIUS, CHRISTOFER
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邊射或邊耦波導型光電元件的製作方法 专利
专利号: TW518741B, 申请日期: 2003-01-21, 公开日期: 2003-01-21
作者:  袁榮亨
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