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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：专利     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Plasma chamber, has quartz medium barrel and radio frequency coil provided with shielding room, and quartz medium barrel provided with air inlet, where bottom side part of metal vacuum cavity is provided with air outlet. 专利 申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-01-04 作者:  GAO F WANG Y 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/03 Large area uniform discharge plasma experimental device, has power supply, spectrum measuring system and discharge measurement system firmly connected with electromagnetic shielding cover. 专利 申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-08-14 作者:  YANG D YANG Y TANG K WANG S LIU Z W 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/13