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科研机构
西安交通大学 [1]
微电子研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
专利 [3]
发表日期
2012 [1]
2010 [1]
2000 [1]
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一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法
专利
申请日期: 2012-07-04,
作者:
王海容
;
关赪
;
乔智霞
;
张碧珂
;
苑国英
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/10
基于超临界二氧化碳微乳液干燥的装置及方法
专利
申请日期: 2010-07-30,
作者:
王磊
;
景玉鹏
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/10/10
玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1277142, 申请日期: 2000-01-01, 公开日期: 2000-12-20
熊幸果
;
陆德仁
;
王渭源
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/10
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