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一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法 专利
申请日期: 2012-07-04,
作者:  王海容;  关赪;  乔智霞;  张碧珂;  苑国英
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基于超临界二氧化碳微乳液干燥的装置及方法 专利
申请日期: 2010-07-30,
作者:  王磊;  景玉鹏
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玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1277142, 申请日期: 2000-01-01, 公开日期: 2000-12-20
熊幸果; 陆德仁; 王渭源
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