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一种高温液体成分在线检测装置及方法 专利
申请日期: 2019-01-18,
作者:  曾鹏;  于海斌;  孙兰香;  李洋
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柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210550894.2, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2014-06-18
作者:  张俊彦;  张斌
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一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器 专利
申请日期: 2011-02-09,
作者:  谢英杰;  刁东风;  蔡天骁
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一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器 专利
申请日期: 2010-09-15,
作者:  刁东风;  谢英杰;  蔡天骁
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一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构 专利
申请日期: 2009-08-19,
作者:  刁东风;  王 凯
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