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科研机构
西安交通大学 [3]
沈阳自动化研究所 [1]
兰州化学物理研究所 [1]
内容类型
专利 [5]
发表日期
2019 [1]
2016 [1]
2011 [1]
2010 [1]
2009 [1]
学科主题
材料科学与物理化学 [1]
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发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
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一种高温液体成分在线检测装置及方法
专利
申请日期: 2019-01-18,
作者:
曾鹏
;
于海斌
;
孙兰香
;
李洋
收藏
  |  
浏览/下载:65/0
  |  
提交时间:2019/01/28
柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210550894.2, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2014-06-18
作者:
张俊彦
;
张斌
收藏
  |  
浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2017/05/08
一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器
专利
申请日期: 2011-02-09,
作者:
谢英杰
;
刁东风
;
蔡天骁
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2019/12/10
一种ECR等离子体溅射装置用基板保持器
专利
申请日期: 2010-09-15,
作者:
刁东风
;
谢英杰
;
蔡天骁
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2019/12/10
一种ECR等离子体溅射装置的腔体结构
专利
申请日期: 2009-08-19,
作者:
刁东风
;
王 凯
收藏
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浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2019/12/18
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