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基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法 专利
申请日期: 2017-05-10, 公开日期: 2017-05-10
作者:  王静,蒋善超,隋青美,田长彬,李亦佳,贾磊,曹玉强,张法业
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基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法 专利
申请日期: 2017-05-10, 公开日期: 2017-05-10
作者:  王静;  蒋善超;  隋青美;  田长彬;  李亦佳
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