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在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1792765, 申请日期: 2006-06-28, 公开日期: 2006-06-28
杨恒; 许科峰; 李铁; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林
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