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金属有机物化学气相淀积设备的多层流反应室结构 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
作者:  焦春美
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单床型可折储式低噪声层流洁净无菌室装置 专利
作者:  朱培鼐
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