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| 匀光器及其制作方法 专利
专利号: CN201210046574.3, 申请日期: 2016-06-29, 公开日期: 2013-09-11
作者: 谢常青 ; 翁永超; 朱效立; 高南; 刘明
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| 极紫外光刻掩模缺陷检测系统 专利
专利号: CN201210104156.5, 申请日期: 2015-07-01, 公开日期: 2013-10-23
作者: 李海亮; 谢常青; 刘明; 李冬梅; 牛洁斌
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| 光子筛及其制作方法 专利
专利号: CN201110286868.9, 申请日期: 2015-05-13, 公开日期: 2013-04-03
作者: 史丽娜; 刘明; 谢常青; 李冬梅; 朱效立
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| 一种制作大高宽比光子筛的方法 专利
专利号: CN201010544443.9, 申请日期: 2013-09-11, 公开日期: 2012-05-23
作者: 高南; 朱效立; 辛将; 谢常青; 刘明
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| 复合光子筛投影式光刻系统 专利
专利号: CN201110234020.1, 申请日期: 2013-03-06, 公开日期: 2011-12-21
作者: 谢常青; 高南; 华一磊; 朱效立; 李海亮
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| 环带光子筛及其制作方法 专利
专利号: CN200910083498.1, 申请日期: 2013-02-27, 公开日期: 2010-11-10
作者: 刘明; 贾佳; 谢常青
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| 基于光子筛的蓝光光学头 专利
专利号: CN102737664A, 申请日期: 2012-10-17, 公开日期: 2012-10-17
作者: 何渝; 陈铭勇; 赵立新; 唐燕
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| 阵列部分环带光子筛匀光器及其制作方法 专利
专利号: CN200910093293.1, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2011-04-20
作者: 谢常青; 贾佳; 刘明
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| 用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法 专利
专利号: CN200910235465.4, 申请日期: 2012-05-23, 公开日期: 2011-05-04
作者: 朱效立; 刘明; 贾佳; 潘一鸣; 谢常青
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| 全环光子筛及其制作方法 专利
专利号: CN200810222330.X, 申请日期: 2011-10-05, 公开日期: 2010-03-24
作者: 贾佳; 谢常青; 刘明
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