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用于薄膜沉积的铝前驱体及其制备方法 专利
专利号: CN201410532553.1, 申请日期: 2017-09-15, 公开日期: 2016-04-20
作者:  项金娟;  王大伟;  苗红艳;  杨淑艳;  许从应
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