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材料界面的原位加工测试装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: 102495237A, 申请日期: 2013-10-30, 公开日期: 2012-06-13
作者:  钟海舰;  曾雄辉;  王建峰;  刘争晖;  徐科
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半导体材料表面缺陷测量装置及表面缺陷测量方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 102495043A, 申请日期: 2013-10-30, 公开日期: 2014-01-20
作者:  刘争晖;  钟海舰;  徐科;  曾雄辉;  王建峰
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通用太赫兹光谱光电测试系统 专利
申请日期: 2011-01-11, 公开日期: 2011-03-16
作者:  张志鹏;  秦华;  张宝顺
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一种测试双面芯片光电性能的方法及组件 专利
申请日期: 2008-08-13, 公开日期: 2010-01-14
作者:  黄寓洋;  刘楠;  张耀辉
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用于检测器件封装水氧渗透指标的方法及其检测装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN 101949813 B, 公开日期: 2012-09-25
作者:  苏文明;  张东煜;  崔铮
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