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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：金属研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种中频磁控溅射法制备纳米硅薄膜的方法及其专用装置 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-12-12, 公开日期: 2012-12-12 肖金泉, 高俊华, 闻立时, 张林, 石南林, 宫骏 and 孙超 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2013/06/06