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一种测试薄膜残余应力及其沿层深分布的方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2006-06-28, 公开日期: 2006-06-28
孙超, 赵升升, 华伟刚, 宫骏, 杜昊, 王启民 and 李家宝
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