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科研机构
兰州大学 [2]
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期刊论文 [2]
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2007 [1]
2005 [1]
学科主题
physics [2]
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Preparation of p-type ZnO thin films by in situ oxidation of Zn3N2
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA/物理学报, 2007, 卷号: 56, 期号: 8, 页码: 4914-4919
作者:
Zhang, J
;
Xie, EQ
;
Fu, YJ
;
Li, H
;
Shao, LX
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提交时间:2015/05/25
p-type ZnO film
Zn3N2 film
radio-frequency sputtering
in situ oxidation
Aluminum-induced crystallization during deposition of silicon films by inductively coupled plasma CVD
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA/物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 269-273
作者:
Wang, XQ
;
Li, JS
;
Chen, Q
;
Qi, J
;
Yin, M
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2015/05/25
ICP-CVD
Al-induced crystallization
Si thin films
low-temperature growth
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