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Preparation and characterization of hydrogenated microcrystalline silicon films by HW-MWECR-CVD 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA/物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 11, 页码: 6147-6151
作者:  Liu, GH;  Ding, Y;  Zhu, XH;  Chen, GH;  He, DY
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