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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2005 [1]
2003 [1]
学科主题
Physics, A... [2]
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学科主题:Physics, Applied
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Self-organized Ge nanocrystals embedded in HfAlO fabricated by pulsed-laser deposition and application to floating gate memory
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2005, 卷号: 86, 期号: 1, 页码: 13110-13110
Liu, WL
;
Lee, PF
;
Dai, JY
;
Wang, J
;
Chan, HLW
;
Choy, CL
;
Song, ZT
;
Feng, SL
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提交时间:2012/03/24
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
DEVICE
HFO2
DIELECTRICS
OXIDATION
SIO2
Structural and electrical characteristics of Ge nanoclusters embedded in Al2O3 gate dielectric
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 82, 期号: 26, 页码: 4708-4710
Wan, Q
;
Lin, CL
;
Liu, WL
;
Wang, TH
收藏
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  |  
提交时间:2012/03/24
SI NANOCRYSTALS
SILICON-NITRIDE
LAYERS
PHOTOLUMINESCENCE
DEPOSITION
OXIDATION
EMISSION
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