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科研机构
兰州化学物理研究所 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2014 [1]
1991 [1]
学科主题
材料科学与物理化学 [2]
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学科主题:材料科学与物理化学
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磁控溅射制备氢化硅薄膜及其特性研究
学位论文
工学博士: 中国科学院大学, 2014
王林青
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浏览/下载:267/0
  |  
提交时间:2014/11/25
氢化硅薄膜
磁控溅射
辅助离子束
磷掺杂
硼掺杂
Hydrogenated Si thin films
Magnetron sputtering
Assisted ion beam
P-doping
B-doping
工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响
期刊论文
固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62
张平余
;
刘洪
;
丛秋滋
;
张绪寿
;
王秀娥
;
顾则鸣
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2014/09/30
等离子体增强化学气相沉积
TiN镀层
物理机械性能
摩擦学性能
晶体学特征
沉积参数
plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
TiN coating
physic-mechanical properties
tribological characteristic
crystallinity
deposition parameters
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