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科研机构
半导体研究所 [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2007 [1]
2006 [1]
2005 [4]
2001 [1]
2000 [1]
1990 [1]
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学科主题
微电子学 [9]
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学科主题:微电子学
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纳米硅薄膜制备及HIT太阳能电池
期刊论文
功能材料, 2007, 卷号: 38, 期号: 10, 页码: 1741-1744
张心强
;
张维佳
;
武美伶
;
贾士亮
;
刘浩
;
李国华
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2010/11/23
微纳加工技术在光电子领域的应用
期刊论文
物理, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 51-55
作者:
樊中朝
;
韩伟华
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/23
注氮工艺对SIMOX器件电特性的影响
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 835-839
张国强
;
刘忠立
;
李宁
;
范楷
;
郑中山
;
张恩霞
;
易万兵
;
陈猛
;
王曦
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/23
部分耗尽型注氟SIMOX器件的电离辐射效应
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: 349-353
李宁
;
张国强
;
刘忠立
;
范楷
;
郑中山
;
林青
;
张正选
;
林成鲁
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浏览/下载:100/1
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提交时间:2010/11/23
(p)nc-Si:H/(n)c-Si异质结变容二极管
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 745-750
韦文生
;
王天民
;
张春熹
;
李国华
;
卢励吾
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2010/11/23
注氮工艺对SOI材料抗辐照性能的影响
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 1269-1272
张恩霞
;
钱聪
;
张正选
;
王曦
;
张国强
;
李宁
;
郑中山
;
刘忠立
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/23
离子注入氮化薄SiO_2栅介质的特性
期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 7, 页码: 881
王延峰
;
刘忠立
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2010/11/23
反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 420
陆建祖
;
魏红振
;
李玉鉴
;
张永刚
;
林世鸣
;
余金中
;
刘忠立
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/23
用SF6—N2混合气的反应离子刻蚀制作WSix微米结构
期刊论文
半导体学报, 1990, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 355
程美乔
;
傅绍云
;
李建中
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2010/11/23
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