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清洗后硅片表面的电子结构 期刊论文
固体电子学研究与进展, 2002, 卷号: 22, 期号: 4, 页码: 496-499
曹宝成; 于新好; 马谨; 马洪磊; 刘忠立
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用含表面活性剂和螯合剂的清洗液清洗硅片的研究 期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 9, 页码: 1226
曹宝成; 于新好; 马瑾; 马洪磊; 刘忠立
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