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注氮工艺对SIMOX器件电特性的影响 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 835-839
张国强; 刘忠立; 李宁; 范楷; 郑中山; 张恩霞; 易万兵; 陈猛; 王曦
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