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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学    专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用单步光刻和湿法腐蚀工艺制作高性能衍射微透镜 期刊论文 半导体学报, 2007, 卷号: 28, 期号: 10, 页码: 1625-1629 作者:  季安 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/11/23 清洗后硅片表面的电子结构 期刊论文 固体电子学研究与进展, 2002, 卷号: 22, 期号: 4, 页码: 496-499 曹宝成; 于新好; 马谨; 马洪磊; 刘忠立 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2010/11/23 用含表面活性剂和螯合剂的清洗液清洗硅片的研究 期刊论文 半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 9, 页码: 1226 曹宝成; 于新好; 马瑾; 马洪磊; 刘忠立 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2010/11/23