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科研机构
半导体研究所 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2008 [3]
学科主题
半导体材料 [4]
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学科主题:半导体材料
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Bulge testing and fracture properties of plasma-enhanced chemical vapor deposited silicon nitride thin films
期刊论文
thin solid films, 2009, 卷号: 517, 期号: 6, 页码: 1989-1994
作者:
Li Y
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浏览/下载:360/38
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提交时间:2010/03/08
Bulge test
Fracture property
Silicon nitride
Weibull distribution function
Fracture properties of silicon carbide thin films charcterized by bulge test of long membranes
会议论文
3rd ieee international conference of nano/micro engineered and molecular systems, sanya, peoples r china, jan 06-09, 2008
Zhou, W
;
Yang, JL
;
Sun, GS
;
Liu, XF
;
Yang, FH
;
Li, JM
收藏
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2010/03/09
bulge test fracture property
silicon carbide thin films
Weibull distribution function
Fracture Properties of LPCVD Silicon Nitride and Thermally Grown Silicon Oxide Thin Films From the Load-Deflection of Long Si3N4 and SiO2/Si3N4 Diaphragms
期刊论文
journal of microelectromechanical systems, 2008, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1120-1134
Yang, JL
;
Gaspar, J
;
Paul, O
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2010/03/08
Bulge test
fracture
pooled Weibull analysis
silicon nitride (Si3N4)
silicon oxide (SiO2)
Fracture properties of silicon carbide thin films by bulge test of long rectangular membrane
期刊论文
journal of microelectromechanical systems, 2008, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 453-461
Zhou, W
;
Yang, JL
;
Sun, GS
;
Liu, XF
;
Yang, FH
;
Li, JM
收藏
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浏览/下载:50/0
  |  
提交时间:2010/03/08
bulge test
fracture property
microelectromechanical systems (MEMS)
silicon carbide (SiC) thin films
Weibull distribution function
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