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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2017 [1]
2008 [1]
学科主题
半导体材料 [2]
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AlN材料外延技术及其应用研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
杜泽杰
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浏览/下载:112/0
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提交时间:2017/05/27
金属有机化合物气相沉积(MOCVD)
深紫外LED
氮化铝(AlN)
成核层
HVPE气相外延法在c面蓝宝石上选区外延生长GaN及其表征
期刊论文
半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 530-533
作者:
刘喆
;
魏同波
;
段瑞飞
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提交时间:2010/11/23
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