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径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 977-982
左然; 张红; 刘祥林
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行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟 期刊论文
工程热物理学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 671-673
左然; 张红; 刘祥林
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2010/11/23


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