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LPCVD氮化硅膜中的氢含量及其对pH-ISFET敏感特性的影响 期刊论文
半导体学报, 1991, 卷号: 12, 期号: 12, 页码: 721
陈克铭; 李国花; 吕惠云; 陈朗星
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