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UHV/CVD外延生长SiGe/Si表面反应动力学 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 564
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2010/11/23


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