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科研机构
上海光学精密机械研究... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2007 [2]
2006 [1]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [5]
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学科主题:光学薄膜
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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
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浏览/下载:836/184
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
反射率对入射角扫描测定单轴晶体的折射率
期刊论文
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 829, 832
邢进华
;
侯海虹
;
钱斌
收藏
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浏览/下载:771/159
  |  
提交时间:2009/09/22
材料
materials
单轴晶体
uniaxial crystal
折射率
refractive indices
反射率
reflectivity
拟合
fitting
光轴
optical axis
斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析
期刊论文
物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 5157, 5160
沈自才
;
孔伟金
;
刘世杰
;
沈建
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:916/118
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提交时间:2009/09/22
斜角入射沉积
渐变折射率
填充系数
glancing angle deposition
graded index
packing factor
Investigation of laser-induced damage on multi-layer dielectric gratings
期刊论文
chin. phys. lett., 2005, 卷号: 22, 期号: 7, 页码: 1757, 1760
Kong WJ
;
Shen ZC
;
Shen J
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1147/131
  |  
提交时间:2009/09/22
HIGH-EFFICIENCY
REFLECTION GRATINGS
PULSES
光学薄膜中界面层和表面吸附层对相位延迟的影响
期刊论文
红外与毫米波学报, 2005, 卷号: 24, 期号: 2, 页码: 105, 108
黄建兵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1408/433
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提交时间:2009/09/22
界面层
interface layer
表面吸附层
surface adhension layer
相位延迟
phase shift
光学薄膜
fitting
介质反射镜
分光光度计
过渡层
优化设计
溅射技术
相位特性
光谱特性
工作特性
变化情况
误差分析
厚度误差
反射率
折射率
相移
正入射
偏振态
层模型
入射角
延迟膜
离子束
椭偏仪
不均匀
离子源
膜层
制备
测试
外层
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