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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 周洪军; 霍同林; 范正修
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不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率 期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭; 邵建达; 易葵; 范正修
收藏  |  浏览/下载:520/120  |  提交时间:2009/09/22
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜 期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭; 邵建达; 易葵
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