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科研机构
上海光学精密机械研究... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2007 [1]
2006 [1]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [4]
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学科主题:光学薄膜
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研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 300, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1020/152
  |  
提交时间:2009/09/22
软X射线
多层膜
扩散屏障层
Mo/Si
反射率
模拟
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率
期刊论文
光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1191, 1193
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
;
范正修
收藏
  |  
浏览/下载:867/85
  |  
提交时间:2009/09/22
余弦模型
梯度折射率
多层膜
软X射线反射率
基底微缺陷对介质薄膜光学性能影响的理论研究
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 4920, 4925
沈健
;
刘守华
;
沈自才
;
孔伟金
;
黄建兵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:580/79
  |  
提交时间:2009/09/22
基底微缺陷
microdefect
介质薄膜
optical thin film
光学性能
inhomogeneous coating
非均匀膜
optical property
光学薄膜中界面层和表面吸附层对相位延迟的影响
期刊论文
红外与毫米波学报, 2005, 卷号: 24, 期号: 2, 页码: 105, 108
黄建兵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1416/434
  |  
提交时间:2009/09/22
界面层
interface layer
表面吸附层
surface adhension layer
相位延迟
phase shift
光学薄膜
fitting
介质反射镜
分光光度计
过渡层
优化设计
溅射技术
相位特性
光谱特性
工作特性
变化情况
误差分析
厚度误差
反射率
折射率
相移
正入射
偏振态
层模型
入射角
延迟膜
离子束
椭偏仪
不均匀
离子源
膜层
制备
测试
外层
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