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上海光学精密机械研... [16]
内容类型
期刊论文 [16]
发表日期
2008 [3]
2007 [3]
2006 [5]
2005 [5]
学科主题
光学薄膜 [16]
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学科主题:光学薄膜
专题:上海光学精密机械研究所
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低损耗193nm反射膜的设计
期刊论文
光学精密工程, 2008, 卷号: 16, 期号: 3, 页码: 397
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:1104/199
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提交时间:2009/09/22
反射膜
Absorption loss
电场强度
Electricity field intensity
吸收损耗
High reflectance
散射损耗
HR coating
HR mirror
Outer layer
Scattering loss
沉积温度对热舟蒸发MgF2薄膜性能的影响
期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 396, 400
尚淑珍
;
赵祖欣
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:872/127
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提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Absorbance
氟化镁
Laser induced damage threshold
光学损耗
MgF2 films
吸收
Reflectance spectra
损伤阈值
Resistance boat evaporation
Transmittance spectra
热舟蒸发LaF_3薄膜的紫外性能研究
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 1941, 1945
尚淑珍
;
邵建达
;
范正修
;
赵祖欣
收藏
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浏览/下载:1391/232
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提交时间:2009/09/22
optical film
depositing temperature
LaF3
optical loss
Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
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浏览/下载:840/185
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
不同膜层数的Mo/Si多层膜的表界面粗糙度和软X射线反射率
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 5, 页码: 301, 303
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:526/121
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
软X射线反射率
表面粗糙度
界面粗糙度
膜层数
Atomic force microscopy
Magnetron sputtering
Reflection
Surface roughness
Synchrotron radiation
X ray diffraction analysis
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:979/176
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提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
光学薄膜的分层界面散射模型
期刊论文
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 1102, 1106
侯海虹
;
沈健
;
沈自才
;
邵建达
;
易葵
;
范正修
收藏
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浏览/下载:737/110
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提交时间:2009/09/22
薄膜光学
表面散射模型
矩阵法
总积分散射
Mo原子溅射能量对Mo/Si薄膜微结构的影响
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: 81, 85
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:715/144
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提交时间:2009/09/22
Mo/Si
MoSi2
溅射能量
高光洁度玻璃基片的表面散射和体散射测量
期刊论文
强激光与粒子束, 2006, 卷号: 18, 期号: 4, 页码: 609, 611
侯海虹
;
洪瑞金
;
范正修
;
易葵
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:619/96
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提交时间:2009/09/22
表面散射
体散射
总积分散射
玻璃基片
表面粗糙度
不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性
期刊论文
光电工程, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 37
张东平
;
邵淑英
;
黄建兵
;
占美琼
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:652/86
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提交时间:2009/09/22
氧化锆薄膜
氧分压
表面迁移率
薄膜特性
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