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科研机构
上海光学精密机械研究... [6]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2007 [1]
2006 [3]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [6]
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学科主题:光学薄膜
内容类型:期刊论文
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用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
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浏览/下载:947/167
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
Mo原子溅射能量对Mo/Si薄膜微结构的影响
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 期号: 2, 页码: 81, 85
秦俊岭
;
易葵
;
邵建达
收藏
  |  
浏览/下载:710/143
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si
MoSi2
溅射能量
不同氧分压下电子束蒸发氧化锆薄膜的特性
期刊论文
光电工程, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 37
张东平
;
邵淑英
;
黄建兵
;
占美琼
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:640/82
  |  
提交时间:2009/09/22
氧化锆薄膜
氧分压
表面迁移率
薄膜特性
Co和Cu薄膜电学特性和连续性特征的判据
期刊论文
中国有色金属学报, 2006, 卷号: 16, 期号: 4, 页码: 651, 656
范平
;
易葵
;
邵建达
;
齐红基
;
范正修
收藏
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浏览/下载:628/114
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提交时间:2009/09/22
Co薄膜
Cu薄膜
金属材料
电学特性
窄带干涉滤光片抗击不同输出方式激光的损伤特性研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 卷号: 17, 期号: 2, 页码: 191, 196
高卫东
;
贺洪波
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:635/119
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提交时间:2009/09/22
干涉滤光片
Narrow-band interference filters
激光损伤
LIDT Single-pulse laser
单脉冲激光
Free-running laser
自由脉冲激光
基底微缺陷对介质薄膜光学性能影响的理论研究
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 4920, 4925
沈健
;
刘守华
;
沈自才
;
孔伟金
;
黄建兵
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:569/78
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提交时间:2009/09/22
基底微缺陷
microdefect
介质薄膜
optical thin film
光学性能
inhomogeneous coating
非均匀膜
optical property
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