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上海光学精密机械研究... [2]
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学位论文 [2]
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光学工程 [2]
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学科主题:光学工程
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
衍射透镜焦斑的非迭代相干检测研究
学位论文
作者:
王松贤
收藏
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浏览/下载:37/0
  |  
提交时间:2018/12/26
衍射透镜
diffractive lenses
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微光器件
micro-optical device,
光子筛
photon sieve,
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