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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：264/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   在线可更换模块（LRU）调平与对接关键技术研究 学位论文 作者:  王世魏 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2018/12/26 混联机构  Hybrid mechanism  调平与对接  Leveling and docking  同时建图与定位  SLAM  二维码定位  Positioning by Qr-code   基于多次全内反射的大口径光学元件缺陷三维检测技术研究 学位论文 作者:  杨菲菲 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2018/12/26 大口径光学元件  large optics  缺陷检测  defect detection  多次全内反射  multiple total internal reflection  缺陷三维位置检测  defect three-dimensional  图像处理  position detection  image processing   高精度三维相位检测及成像技术研究 学位论文 作者:  蒋志龙 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/12/26 光学检测  optical inspection  相位恢复  phase recovery  全息成像  holography imaging  强度传输方程  transport-of-intensity equation  三维成像  three dimensional imaging   高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究 学位论文 作者:  程伟林 收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统  Advanced lithographic illumination  智能均匀性校正技术  intelligent uniformity correction  手指阵列式均匀性校正技术  finger arreys uniformity correction  阵列式手指驱动技术  finger array driving technology   高功率激光器自动准直技术研究 学位论文 作者:  李红 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2018/12/26 高功率激光驱动器  High power laser facility  自动准直  Automatic alignment  图像处理  Image processing  自动控制  Automatic control  最小二值化  Binarization  耦合矩阵  Coupling matrix   光学测量中的二维Gold矩阵方法 学位论文 作者:  李号 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2018/12/26 二维Gold矩阵  Two-dimensional Gold matrix  二维绝对式光栅尺  Two-dimensional absolute optical encoder  结构光  Structured light